ISSN 1411-1349
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
STUDI AWAL REKAYASA VAKmt TINGGI PADA TABUNG AKSELERATORD~~PE~~ALAHANNYA M.~Munawir Z. Sri Mulyono A. Romi Santoso. Karyanto PPNR
-
RATA-V,
Serpong
ABSTRAK STUDI AWAL REKAYASA VAKUM TINGGI PADA TABUNG AKSELERATOR DAN PERMASALAHANNYA. Teklh dilakukan srudi meliputi aspek konsrruksi don aspek Kimia- Fisiko yang bisa berakibat gaga/nya $istem yokum pada tabung Akse/erator. Konsep pemecahan permasaklhan.juga disajikan dolam tulisan ini. Diharapkan dengan konsep tersebut perekayasaan Tabung Akselerator don sistem vakumnya diperoleh hasil sesuai dengan spesifikasi teknis yang ditetapkan.
ABSTRACK A STUDY OF THE HIGH VACUUM ENGINEERING FOR THE ACCELERATOR TUBE CONSTRUCTION HAS PERFORMED. Failure of the accelerator tube vacuum systems due to construction andphysical chemistry aspect are reported in this study. Theproblem solving arepresented in this paper. where the results of this engineering concepts are met with the requirement of the technical specifications.
PENDAHULUAN
T
abung akselerator merupakan salah satu komponen pokok dalam akselerator atau Mesin Berkas Elektron. Pada komponen ini ionlelektron akan dipercepat clan diarahkan dengan menggunakan elektroda-elektroda yang dihubungkan dengan beda potensial tertentu. Sehingga mencapai intensitas berkas (ams berkas) semaksimal mungkin sesuai dengan kondisi yang dimilikinya. Salah satu faktoryang dapat mempengaruhi kualitas berkas ion adalah tingkat ke vakuman dari taboos tersebut, yang mana untuk mencapai kualitas berkas yang cukup baik, tingkat kevakuman tabung harus berada pada kondisi vakum tinggi atau sangat tinggi. Oleh karenanya, untuk memperoleh arus berkas yang baik , memerlukan kontruksi elektroda yang mendukung, tingkat kevakuman dan cara mencapainya harus menjadi bahasan utama dalam rekayasa ini. Permasalahan timbul clanseringkali sulit di selesaikan dalam rekayasa, karena tidak tersedianya bahan yang memenuhi spesifikasi teknis yang ditetapkan, rnisalnya tidak tersedianya taboos-taboos pirex yang cukup tebal untuk melaksanakan rekayasa tabung Akselerator ini. Permasalahan menjadi semakin rumit, karena diperlukannya penyambungan yang cukup banyak, berkaitan dengan pemasangan elektroda-elektroda penyearah , yang secara teknologi bisa menimbulkan kebocoran vakum yang hams diatasi.
Dalam tulisan ini, akan disajikan permasalahan yang berkaitan dengan teknik pemvakuman dari aspek konstruksi, maupun aspek Kimia-Fisika berdasar teori teknologi vakum. Usulan pemecahan masalah tersebut berdasar konsep rekayasa disajikan daJam tulisan ini. Dengan demikian, dapat diharapkan Rekayasa MBE energi rendah. khususnya untuk taboos Akselerator dapat direa1isir lebih cepat clan lebih baik.
BASIC REQUIREMENT (KEBUTUHAN DASAR) DALAM PEMV AKUMAN Didalam teknologi vakum (pemvakuman), kebutuhan dasarlbasic requipment agar kondisi vakum dapat dicapai adalah : 1. Kemampuan pompa hams melebihi tekanan akhir vakum yang dikehendaki. 2. Konduktivitas pipa/tabung sebesar mungkin 3. Beban gas sekecil mungkin Namun dalam pelaksanaannya ketiga hat tersebut sulit dicapai. Untuk ketiga hat tersebut di atas hanya pompa vakum yang bisa dipenuhi, karena komponen ini dapat dipesan sesuai dengan spesifikasi teknis yang diharapkan. sedangkan konduktivitas dan beban gas sangat ditentukan oleh kemampuan teknologi dan kebutuhan setempat (on site requirement) dari peralatan tersebut yang seringkali sangat komplek. Berikut akan dijelaskan konduktivitas, beban gas, serta permasalahan dalam perekayasaan sistim vakum.
STUDI AWAL REKAYASA VAKUM TINGGI PADA TABUNG AKSELERATOR DAN PERMASALAHANNYA (M. Munawir Z.. dkk.)
.
t>2
ISSN 1411-1349
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
Konduktivitas pipa/tabung Sesuai dengan teori, gas yang dikeluarkan daTi roans vakum oleh pemompaan akan mengalami hambatan, karena peristiwa tumbukan dengan dinding-dinding pipalbejana., tumbukan dengan material lain yang bergerak lebih lambat dari molekul gas tersebut. Besar hambatan ini tergantung dari ben1ok dan diameter bejanalpipa serta tingkat aliran (tingkat kevalcuman) dari pipa tersebut. Atau dengan kata lain konduktivitasnya juga bergantung pada bentuk daD ukuran pipalbejana., serta tingkat kevakuman. Secara matematis, besar konduktivitas akan sebanding dengan laju aliran yang diwakHi oleh jumlah molekul gas yang mengalir daJamsatuan waktu N, dan dapat ditulis N= C (nl -n2) (1) dimana
Didalam praktek, hubungan sistim konduktansi pada pengavakuman dalam bentuk seri, sesuai rumus (5) maka konduktansi akhir selalu mengecil. Berdasar rumus (3) maka keadaan ini akan merugikan dalam pemompaan. Hal ini adalah salah sa1omasaJah yang dihadapi daJam pengvalcuman, sehubungan dengan struktur sistem.Penyambungan dari pompa ke ruang valcum,biasanya terdiri dari sa1oatau lebih komponen konduktansi antara lain "seal", pipa penghubung silinder, pipa"elbow". Sistim "diaphragma efek" (karena perbedaan diameter), yang mempunyai konduktansi pada vakum tinggi, dimana gas berada pada aliran molekuler sebesar : a). Pipa bentuk sHinder panjang, dengan penampang tetap, punya konduktansi pada sOOu T f K) dan berat molekul M menurut Kmudsen sebesar :
C = konduktivitas pipa
nI,02=
rapatmolekulpadaujungpipa 1dan 2 persamaan (1) dapat ditulis menjadi (2) 1 n)-1I2 1 I C
dimana S1 ,S2 = cepat pemompaan di ujung pipa 1 dan2; maka cepat pemompaan diujung 2, melalui pipalsistim dengan kondoktivitas C adalah :
.l-.l.:..l S2 - SI C
-
n
=L C, i=1
L = panjangpipa
b). Sedans pada silinder . pendek dengan penampang tetap konduktansinya adaJah
(4)
(C2 membesar)
Sedans sambungan berben1ok seri, konduktansi totalnya n (5) 1 1 (CI mengecil) Cn = LCi i=J
Prosiding Pertemuan daD Presentasi Ilmiah TeknologiAkseleratordaD Aplikasinya Vol.1 No.1 Juli 1999: 62-70
C = 3,81(rIM) 1/2 d /(L + 1,33 D)
(7)
dengan asumsi D< 0,2 Dvdimana Dv = diameter bejana (vassel) c). Bentuk silinderyang berben1ok "elbow" besar konduktansinya menurut Dushman daD Lafferty (1962) adalah
(3)
Sehingga hila C kecil ,maka S2«S1. Sebaliknya hila C besar, maka S2 SI , maka idea1nyaharga C harus diusahakan sebesar mungkin. Untuk menghubungkan roans vakum dengan pompa diperlukanberbagai sambungan dari bennacam-macam pipa (ukuran maupun bentuk), maka akan terjadi tiga kemungkinan sambungan, yakni paralel, seri atau kombinasi ; yang masing-masing pipa/sambungan puny a konduktivitas sendiri-sendiri. Untulc sambungan berben1okparaJel,konduktansi -," totalnya Cn
dimana D = diameter pipa.,
= SI - S2
=~
(6)
C=3,81(r/m) 1/2/Y/L
1 1 -=-+C CI
d = 3,81.103
= 3,81.
..3,' "lmana
(8a)
(TIM/h DJ /(LI + 1,33D,)
dan
C2
1
C2
I.
~ 103 (TiM)~ (Uo-m)(Do-Df)
(8b)
(L2 + 1,33(Do-D/» . dengan Do, Di adalah diameter luar daDdaJam d). Urituk pipa dengan "diaphragma effect' Konduktansinya menurut Rath adalah
(G:l_I\
V~
A
Ce= 1l,6A/( 1- A)
(9)
63
Volume 1 Nomor1 Juli 1999
ISSN 1411-1349
Dimana Ao = luas penampang silinder besar A = luas penampang silinder keeil 1 1 1 1 SedanS .
Sesuai dengan rumus pemompaan P(t) = Pi e -{SIv)t
-=-+-+C Cl C2 C~
S
e). Untuk "seal" akan puny a konduktansi menurut Rath (1976) sebesar C
... 314 VOl>2 xA2 (Az/ A)2 (l-O,36A,,/A) In (ra/ri )4 (l + 1/ CDS a)
~///
\~
/\
000UI
~~
fI-
~
(10)
r
~rt
Gambar 1. Model Antar Muka proses perapatan (sealing) Rath Dari grain di atas, berdasar persamaan (4) atau (5) terlihat bahwa dalam sistim vakum konduktivitas total eenderung mengecil. Berdasar (6) (7) (8) clan(9), kondukvitas akan dipengaruhi oleh suhu clanberat molekulgas yang akan dipompa keluar. Untuk molekul semakin berat, konduktivitassnya semakin kecil, maka sesuai persamaan (3), efek pemompaan berkurang. Deban Gas (Gas Load) Qo Yang dimaksud beban gas dalam sistim vakum, bukan beban gas yang menimbulkan tekanan awat. clan hams dikeluarkan oleh oomoa
V Pi
= eepat pemompaan
= volume = tekanan
ruang awal
pet) tekanan dalam waktu t, dimana dalam keadaan "steady" didapat tekanan akhir QQ Pu = S Didalam teknologi vakum. beban gas ini teIjadi dari dua peristiwa, yaitu : L Peristiwa kimia-flsika yang merupakan pembawaan dari material dan di pengaruhi kondisi lingkungan. 2. Kegiatan konstruksi. bisa dihindari dengan penyempurnaan struktur clan prosedur rekayasa. Beban gas yang berkaitan dengan kontruksi, adalah dalam bentuk kebocoran-kebocoran gas yang terjadi pada saat melakukan kegiatan penyambungan (pengelasan, pengeleman, pemasangan "seal" dst). Semakin banyak sambungan, resiko kebocoran semakin besar. SedanS beban gas karena peristiwa Kimia-Fisika, dalam bentuk permeasi/difusi, out gassing, evaporasi, tentunya hanya dapat diselesaikan dengan perlakuan Fisika-Kimia clan pemilihan bahan yang mendukung. ( perlu difahami karakteristik
T... 005."1 ..j"'j ",oJ! 1 i i 0.2 j i
.
.
P. P,eor<
0 1 1 ..i...,...................
i v'" !: !..~. '..
i i
iT.... i i
i!
i""2.JVIS
i
t'1 O.693VIS It fa
Gambar 2.
'-Oct' 0..- "O I
I, Proses pemompaan turun daD keadaan
steady vakum, tapi yang dimaksud beban gas adalah gas-gasyang masukke dalamruangvakum,yang akan mengurangi tingkat kevakuman, karena prosesnya bisa terjadi terus menerus. Beban gas ini, yang akan menetapkan tekanan akhir dati sistim vakum, seperti terlihat pada gambar.
. Dan
bahan dalam keadaan vakum)
penyelesaian permasalahan bisa dilakukan, bita difahami mekanisme peristiwa-peristiwa tersebut
denganbaik. p/pi
(11)
-
Khususnya pada peritiwa "permeasi", karena perilakunya seperti mekanisme kebocoran, dimana gas masuk dati luar. akibat terjadinya beda tekanan. Gas yang masuk akan semakin besar bita tingkat kevakukam semakin tinggi. maka penanganannya harus lebih spesifik. Sedang pada "out gassing" dati "vaporosi" karena sumbemya didalam materialnya, dapat diperfakukan dengan menghilangkan sumber. sebelum dilakukan rekayasa misalnya dengan panas kejut pad a material (untuk "out gassing") clan penghilangan
cairanpadadinding(padavaporasi)
.
Secara maternatis beban gas pada sistim vakum dapat ditulis Qo=QL +QD+Qp +Qv (12) dimana QL z= beban gas karena kebocoran Qo - beban gas karena "out gassing" Qp = beban gas karena Permeasi Qv = beban gas karena penguapan
STuDI AWAL RI:KAYASA-VAKUM TINGGI PADA TABUNG AKSElERA TOR DAN PERMASALAHANNYA (M. Munawir ZO.dkk.)
(vaporasi) 64
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
ISSN 1411-1349 ~
Beban gas ini akan membatasi tekanan akhir menjadi sebesar Pu =PL +PD + Pp + Pv dengan nL AP PL=[~]'r=[-] 't V ML
Qp=Dlh(PI
(13)
(14)
Pv
=[
V] 't
Sesuai rumus Claussius
Pv= [flk]'t = [AP] 't (pengaruh "Vaporasi")
A =-tetapan bergantung pada luas bahan T = suhu gasdimana Lo= panas penguapan
Besamya beban gas karena kebocoran adalah Qr. = qlL sehingga PL = qlL (LIV)
(15) qlL = tingkat kebocoran persatuan panjang "seal"/pipa untuk tabunfbejana berbentuk kubus dengan sisi a, UV = 121a ; sedangkan untuk bentuk Silinder dengan diameter d, panjang L didapat UV = 4/d 1 Untuk "seal" dengan tebal It. maka
qL = h qJL = (p 0 e xp (-3 P/R)A2(pI -PO) (16) P
= indek
spesifik seal untuk berbagai gas misalnya Bet.. 200 = 340 (lIdtXmmlcm3 "tighttening" (pengencangan)
dimana untuk tabung bentuk : Kubus dengan sisi a, besar SIV = bia, sedang untuk Silinder dengan diameter d, besar SN = 4/d Beban gas "permeasi" dapat dituIis g£J. Qp = h dimana qp = laju permeasi, persatuan luas (cm2) untuk tebal 1 mm
-
qp = DI h (P1I12 P2112) D = koefisien difusi bahan b
= tetapan
permeasi
PI, P2 = tekanan pada sisi bahan ke 1, dan 2 j = 1unwk gas monoatomik = 2 untuk gas diatomik maka dapat ditulis untuk gas diatomik
Presiding Pertemuan dan Presentasi IImiah TeknologiAkselerator dan Aplikasinya Vol.1 No.1 Juli 1999: 62-70
Lo ho = 1, 987 C = 1/1,987 Maka secara umum beban tekanan dapat ditulis Pu=PL+PD+pP+Pv 1 L S D- S I A-/V1' ( 21) .. qL[::.J [::'1t + -TCe V' t + qD[-) C t + ~hV' dimana waktu pemompaan. yang besarnya 't=v/S S = cepat pemompaan efektif Sp
R =faktor "sealing" Sedans beban "out gassing" dapat dituIis QD =qo S qD =tingkat "out grassing" spesifik persatuan luas permukaan S =luas permukaan "out gassing" Maka rumus (14) untuk beban tekanan karena "out gassing" dapat ditulis (17) PD = (QDIV)'t= qo(S/Vj't
(18)
(20)
= PC e A-BIT
dimana
MV
=faktor
-Clapeyron 1
Pv
po -
(19)
~-
PP = [~]'t = [~]p 't (pengaruh permeasi)
V
1..1 )[~]'t V
Gambar terlampir adalah laju permeasi berbagai bahan dan monogram permeasi beban gas untuk "out gassing" dan permeasi Besar beban tekanan karena pengaruh penguapan V
(pengaruh kebocoran)
PD=[0: t (pengaruh "outgassing") Vl.Jt=[M'J tJlD
h -P2
= cepat
dengan
pemompaan
pompa
II S = II Sp = lIC dimana harga S sangat
dipengaruhi oleh C untuk C
-
0, maka S
-
0 daD
- berarrl tekanan akhir. akan sangat suJit sekali dicapai t
-
Teknologi Pengurangan beban gas karena permeasi Untuk beban gas karena peristiwa "out gassing" dapat dihilangkan dengan mengeluarkan gas dari material (sebelum dikontruksi). misalnya dengan pemanasan. Sedanguntuk beban gas karena penguapan cairan yang menempel di dindins. dapat dilakukan pembersihan lebih dahulu sebelum di kontruksi. Namun beban gas permeasi, karena gas datang daTiluar. dan sifatnya sangat spesifik pada tiap bahan. maka kedua kegiatan di atas tidak mungkin dilakukan. Ada 3 (tiga) tara untuk mengurangi beban gas ini, yaitu : 1. PerIn dipilih bahan yang tingkat permeasinya sangat rendah dan memenuhi syarat kontruksi SS 304. SS 316 daD Pire", adalah bahan-bahan yang cukup rendah tingkat permeasinya, kecuali pada suhu tinggi. 2. Bila bahan yang tersedia belum memenuhi syarat. tingkat ketebalannya atau diubah karakter dari bahan dengan teknik pelapisan korosi (sehingga seolah-olah bahan terdiri 65
ISSN 1411-1349
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999 dari dua lapis), atau dengan menutup lubang-Iubang permeasi dari bahan dengan teknik impletansi. 3. Bila (I) daD (2) belum dapat mengatasi kebutuhan, maka dapat dilakukan pengurangan beda tekanan, dengan memberikan dinding vakum sekundair terhadap mang vakum primer, melalui cara ini masalah beban gas "permeasi" dapat dikurangi. Efek Panjang Pip a terhadap pemompaan Selain induktansi C, panjang pipajuga akan berpengaruh terhadap tekanan dalam proses pengvakuman. Untuk pipa dengan keliling B = 1t D, daD panjang dx Besar beban gas adalah dQ=QDBdx QD= laju "out ~sin~"
-2-
IcIxI
~~
~
Sedangkan "through pat" adalah
L Q=CCttrJdp
(22)
maka (23) dQ = CL C!1J Kombinasi (I) dan (2) didapat d2P ~ = -qDB/(CL) Jodi Diujung pipa X
(24) (25)
~ =(qDB/CL)x+KI =L
C~J =0 Ux L
maka
KI = QDBID Perhittmgan selanjutnya akan didapat /1.-Po = qDBU2C= M' Untuk L yang cukup panjang, te~adi beda tekanan yang cukup besar, sehingga untuk menurunkannya perlu tambahan pompa lagi, seperti gambar
-lp
r
(M. Munawir Z., dkk.)
"'-' Pt.
L
l
" Pt.
L
] ~ ~l [ ~S
Gambar 3. Pemasangan pompa-pompa sistim pipa panjang Lp
= panjangjarak
pada
antar pompa
Masalah Tabung Akselator Berdasarkan kepada pemikiran di alas, maka tabung harus berperan pula sebagai isolator. Oleh karena itu, salah satu bahan yang memungkinkan untuk digunakan adalah gelas pirex (borosilicate glass). Bahan ini dapat diperoleh di dalam Degen, dengan maksimum diameter sekitar 200 mm dan panjang 1500 rom. Sedangkan bahan elektroda pemercepatdapat menggunakan stainless steel. Kedua bahan ini cukup baik, untuk dapat digunakan sebagai tabung pemereepat karena selain memenuhi kriteria di atas juga mempunyai koefisien "out gassing" (penguapan permukaan) yang kecil, sehingga tidak mengganggu pe~aIanan berkas elektron yang dibangkitkan. Bahan lain yang perlu diperhatikan pada tabung akselerator adalah bahan lem yang digunakan ootuk menyambung antara taboog gelas daD elektroda pemercepat. Lem inipun harus diusahakan agar mempunyai penguapan permukaan yang keeil serta dipilih yang mempunyai daya lekat yang kuat atau dengan meneari luas optimal untuk pengeleman. Hal ini diperlukan untuk memperoleh sistim konstruksi yang memadai sehingga dapat mendukung pemasangan komponen-komponen yang lain. Masalah Konstruksi Untuk keperluan rekayasa konstruksi tabung, didasarkan pada kemungkinan kemudahan bahan didapat di pasaran dalam negeri tanpa mengurangi fungsi masing-masing komponen konstruksi. Secara umum, konstruksi tabung yang ada di pasaran terdiri dari gelas pirex berbentuk ring, dengan tebal (30 mm, lebar ring (30 mm dan elektroda dari plat stainless steel yang berbentuk kerueut, yang dibuat dengan sistim press (Iampiran-4). Kedua komponen ini disusun secara bersel ang-seling (gelas-elektroda-gelas-elektroda dst) daDdilakukan dengan lem.
STUDI AWAL REKAYASA VAKUM TINGGI PADA TABUNG
AKSELERATQR DANPERMASALAHANNY A
~
.
~ _lp L
66
ISSN 1411-1349
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
Kemungkinan perekayasaan dengan bahan yang ada di pasaran dalam Degen adalah dengan tabung gelas pirex yang mempunyai tebal standar ( 5 mm. Jika diinginkan spesifikasi seperti di atas, maka taboog gelas ini dipotong dengan panjang ( 90 mm. Tabung ini kemudian dilebarkan pada kedua ujoognya sepanjang masing-masing 30 mm, sehingga diameter kedua ujung yang dilebarkan menjadi 210 mm (diameter awal tabung adalah 150 mm). Bentuk akhir taboog gelas ini seperti pada lampiran-5. Dengan bentuk seperti ini diharapkan akan memenuhi spesifikasi teknik yang ada di pasaran. Elektroda kerucut dapat dibuat dan stain1ess steel pejal dengan cara dibubut Bentuk akhir dari kericut ini seperti pada lampiran-5 Bentuk dari komponen ini, memungkinkan pengeleman lebih baik, karena permukaan yang didapat cukup luas. Demikian pula akan diperoleh struktur yang cukup kuat, clan memudahkan pemasangan komponen lainnya. Komponen tabung gelas ini dapat dibuat dengan fasilitas bengkel gelas PPNY ataupun PPNR Demikian pula elektrodanya, walaupoo pembubutannya cukup sulit. Catalan : Untuk mendapatkan spesifikasi yang lebih baik, gelas dapat dibuat menjadi dinding rangkap (double wall) Kesimpulan dan Saran Berdasarkan uraian di alas, dapat disampaikan sebagai berikut : I. Bahwa dalam konstruksi tabung akselerator yangmemerlukan kondisi kerja vakum tinggi, perlu dipikirkan sumber-sumber beban gas vakum dalam bentuk permeasi, out gassing, penguapan atau kebocoran karena konstruksi, dengan tidak meninggalkan efek konduktansi. 2. Untuk mengurangi beban gas tersebut , dapat dilakukan pra rekayasa melalui pengujian I penyiapan bahan untuk menjamin kualitas produk yang dihasilkan.
Presiding Pertemuan dan Presentasi IImiah TeknologiAkselerator daDAplikasinya VoJ.1No.1 Juli 1999: 62-70
3.
Konsep pelindung sanda dan memperluas daerah pengeleman bisa dijadikan alternatif konstruksi, bila bahan pirex yang cukup tebal sulit diperoleh. Konstruksi tabung akselerator ini dapat dikerjakan di PPNR, setelah dilakukan kegiatan detail desain yang memadai oleh Tim MBE Daftar
Pustaka
1. John F. D' Hanlon, A user's guide vacuum technology, John Wiley and Sons, 1989 2.
Karyanto, Laporan Training MBE Type GJ.2. (2 MeV/lO IDA) di Jhanghai Xian Feng Electric Manufacturing Work 1993 3. J Verhoeven, Techniquest to obtain ultra vacuum, Fom Instituut voor Atoom en Molecuulfysica, 1978 4. Siegfried Schiller, Electron Beam Technology John Wiley & Sons, 1982 5. Rath, Vacuum Technology Second Edition, 1982 6. Munawir dkk, Evaluasi Kelayakan Bahan SS 304 & SS 316 sebagai bahan rekayasa Vacum Tinggi Peralatan Permeasi Hidrogen.
TANYAJAWAB Sudarti Apakah lidak ado over/aping dengan tugas di PPNY dengan penanggungjawab Drs. Darsono, MSc.
Sri Mulyono Tidak overlaping, tet:apijustru saling megisi
67
ISSN 1411-1349 Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
LAMPmAN 1 tlJ.- IIdc cn
~ -~
JJi'
r
1$ !'.c..r-~ -..' v'
C\IY P,e"",)
'_-7 .t
~
---
J'.~
~,-J
.
5} - ~~ >!-'..->:;"
,
=
...1
..
Ii'-J.
,
10
,LI 0'
. 10."
Gambar 4.1.Monogram untuk menentukan batas kebocoran
LAMPrR.\..~ 2 (1. I
eocn
I
""",)
I
-J. I.
al.
rl' .. 81)
D-.-
a8 o~t::::-"""
.0$ ' -.-1Ie /' 81) . 0"'- --"II8'C~" ~~ 'I U ... O""' II) ~ 1OO'4CIO'C M .. ..110.. " I
o.s .~. fJ'
81)": "I ,u' 81).
~_..""--
t" \
--s
~.J
Gambar 4.2.Monogram untuk menentukan batas kebocoran
68
STUDIAWALREKAYASA VAKUM TINGGI PADA TA8UNG AKSEL-ERATORDAN PERMASALAHANNYA (M. Munawir Z., dkk.)
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
ISSN 1411-1349
LAMPIRAN 3 1,1.1.._""""'"
~
~
j.. j;.. "1, II
/'.. 10"
.10'
IO~
rl
,,-t-- .,
.
,J..,,' ,
II,.f
-
Gambar 4.3. Monogram untuk menentukan batas perembesan gas
LAMPIRAN 4
-..-----.
PO1.f.-A
'-'-',
Gambar Tabung Gelas Pemercepat Elektron jII"~
Gambar Elektroda pemercepat elektron
Presiding Pertemuan daD Presentasi IImiah T eknologi Akselerator daD Aplikasinya VoU No.1 Juri 1999: 62-70
69
ISSN 1411-1349
Volume 1 Nomor 1 Juli 1999
LAMP IRAN 5
I i I
I
-"-.'~ '~ ~ ~ ~ z lOr';""": Tt,;,'C~ 3:
.
~ ~1
..
.. ..
I
~
I I
'-'.1
F;' .
.. .. ,...
'. to n i~ ..
(-.
g
~
~
'. 'J
'w,..
@ttZ
~ ~
~
.
;;
~
I~ gj :>.'7. ~
't;~' '" -'Itl
"
1
'.
I ~.~ ~ n""
I
~.
I ~
C1)
3
1"
r-'.""~"'-'--"-'
i
.~
)
'(;1
,' .. :r-I
I
,.
}:to
.-. ,
.I
z ~ ~ ~: ~
.: ...
6
~ ~ OZ a (;1
,.: '-- J:l- _.:.~...
~ ..
.
..
. ~:-:.- .-::::.:..
1(-'
~
:. 1.
--~C'
1'-:::7-~
_. '." ..1 ";;'--.~'"
"-"""
-----
~
I:."-~:-'-:.::':':.~~';... ..--..-.
..,~!: .1
Gambar Bejana Pemercepat
STUDI AWAL REKAYASA VAKUM TINGGI PADA TABUNG AKSELERATOR DAN PERMASALAHANNYA (M. Munawir Z., dkk.)
70
